28nm光刻機(jī)與7nm差距在哪？這個(gè)概念就被混淆不清了!即便28納米不錯(cuò)，7納米依我看，指的大都光刻機(jī)的制程工藝。而光刻機(jī)背身只分成三類(lèi)紫外光刻機(jī)(UV)，深紫外光刻機(jī)(DUV)，極紫外光刻機(jī)(EUV

28nm光刻機(jī)與7nm差距在哪？

這個(gè)概念就被混淆不清了!即便28納米不錯(cuò)，7納米依我看，指的大都光刻機(jī)的制程工藝。而光刻機(jī)背身只分成三類(lèi)紫外光刻機(jī)(UV)，深紫外光刻機(jī)(DUV)，極紫外光刻機(jī)(EUV)。其中28納米的制程工藝用DUV也行，用EUV也這個(gè)可以。7納米制程工藝使用DUV確實(shí)是是可以的，只是太麻煩了，用EUV比較簡(jiǎn)單省事兒。

而DUV光刻機(jī)和EUV光刻機(jī)的差距要注意在:“光源，物鏡”，這三者基本確定了一臺(tái)光刻機(jī)制程工藝的高低。要是頓了頓具體詳細(xì)的工藝上，那是28納米制程工藝能制造的芯片與7納米制程工藝能制造的芯片性能差太大了，基本是28納米制程工藝是9年前的了，如果讓用回9年前的手機(jī)，你還愿意么？

機(jī)臺(tái)部件差距先來(lái)看光源。DUV光刻機(jī)需要的Arf光源，其波長(zhǎng)普片在193納米。而光刻機(jī)的分辨率除了正比于波長(zhǎng)之外，還主要注意受限制于瑞利衍射極限。Arf光源的極限基本是就是7nm工藝了，在提升到分辨率的話(huà)，那代價(jià)就太大了，完全沒(méi)有太不劃算。而EUV光刻機(jī)常規(guī)的是EUV光源，其波長(zhǎng)為13.5納米，這么多短的波長(zhǎng)，就很容易實(shí)現(xiàn)分辨率的提升，因此在用EUV光刻機(jī)的話(huà)制程工藝至少7納米，5納米，3納米是很容易能夠做到的。別外，另外結(jié)束制作7納米的芯片，EUV光刻機(jī)的效率要比DUV高的多。

再來(lái)看低倍物鏡組。ASML制造出的EUV光刻機(jī)在用的是蔡司公司能提供的物鏡，其數(shù)值孔徑(NA)值為0.33越大?？垂健肮饪虣C(jī)分辨率k1*λ/NA”。也就是說(shuō)NA值越大意思是分辨率越高，光源波長(zhǎng)越短，分辨率也就越高。導(dǎo)致直接限制于技術(shù)，可能導(dǎo)致鏡頭的NA值又不能無(wú)限增大，所以我沒(méi)有辦法你選擇縮小光源的波長(zhǎng)了。國(guó)內(nèi)NA值或?yàn)?.75的光學(xué)系統(tǒng)也是從驗(yàn)收了，一直在向NA值為1.35的進(jìn)發(fā)。的確，國(guó)產(chǎn)品牌DUV光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)的NA值早比ASML的高了。

由此可知，EUV光刻機(jī)和DUV光刻機(jī)之間的差距有多大。肯定了，EUV光刻機(jī)要的光源和物鏡都是是需要極高技術(shù)支持的，不能夠掌握先去的技術(shù)，那是制造不出EUV光刻機(jī)的。再者，芯片的制程工藝，不光是由光刻機(jī)做出決定的。更多的在于一個(gè)廠商的研發(fā)工藝，假如，臺(tái)積電在用DUV光刻機(jī)就可以不將芯片的制程拽入7納米，而三星就不行呀，三星想制造出來(lái)出7納米制程工藝的芯片，就需要要有EUV光刻機(jī)。所以說(shuō)，現(xiàn)在可以使用DUV光刻機(jī)也是這個(gè)可以實(shí)現(xiàn)方法7納米制程工藝的，不過(guò)就看廠商對(duì)技術(shù)的研發(fā)怎么樣了。不過(guò)臺(tái)積電上千人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，用不3年時(shí)間，燒了數(shù)百億美金才拿起7納米制程工藝。因?yàn)檎f(shuō)，生產(chǎn)芯片既要會(huì)舍得投資，還得在等待。

人類(lèi)儀器的發(fā)展史？

儀器儀表發(fā)展已有悠久的歷史。公元前600年1450年，古埃及就有綠石板影鐘。至960年14世紀(jì)，用以來(lái)表示時(shí)間的任何比較可靠的方法是日晷或影鐘。公元前600年至公元前2500年525年，也用處不大棕櫚葉和鉛垂線(xiàn)記錄夜間時(shí)間和某種特定天體的儀器。當(dāng)天體是從子午線(xiàn)時(shí)，從棕櫚葉的開(kāi)口說(shuō)中觀察到天體越過(guò)鉛垂線(xiàn)的過(guò)程。在江蘇儀征發(fā)掘出土了東漢中期的小型折疊后銅質(zhì)民間測(cè)影儀器。

962年1400年前，埃及有記錄長(zhǎng)度短時(shí)間的儀器叫水鐘，水鐘內(nèi)有刻度，下有小孔，整個(gè)水鐘用雪花石膏制成瓶狀。在古希臘古羅馬有當(dāng)時(shí)世界上真正的機(jī)械計(jì)時(shí)儀——水儀。通過(guò)水的傳遞計(jì)量時(shí)間，記錄的是不停緩緩流動(dòng)的概念而不是什么在不相等的時(shí)間，更加不精確計(jì)算。北宋時(shí)期的蘇頌和韓公謙于1088年可以制作了天文計(jì)時(shí)器——天文儀象臺(tái)。它區(qū)分民間的水車(chē)、筒車(chē)、桔槔、凸輪和天平秤桿等，是集觀測(cè)、演示相關(guān)和報(bào)時(shí)為一身。

到了現(xiàn)代，不斷X射線(xiàn)、γ射線(xiàn)先后被德國(guó)科學(xué)家倫琴、法國(guó)科學(xué)家P.V.維拉德才發(fā)現(xiàn)，因其很強(qiáng)大穿透力這一特性，使儀器的功能與概念被盡快拽入更深的領(lǐng)域，如X光檢查機(jī)、線(xiàn)寬檢測(cè)儀等儀器，就需要了X射線(xiàn)、γ射線(xiàn)的很強(qiáng)大穿透力研發(fā)的先進(jìn)檢測(cè)儀器設(shè)備。

20世紀(jì)初，電子技術(shù)的發(fā)展使各形電子儀器急速才能產(chǎn)生，如今后教育的普及全球的電子計(jì)算機(jī)，浮山宗從這一時(shí)始崛起的。同樣的，伴隨著工業(yè)化程度的不斷提高，各行各業(yè)的電子儀器如雨后春筍般地出現(xiàn)，如計(jì)量、分析什么、生物、天文、汽車(chē)、電力、石油、化工儀器等。