什么是MEMS傳感器？什么是MEMS傳感器？MEMS是一種微電子機械系統(tǒng)。MEMS傳感器是利用微加工技術制造的一種新型傳感器，屬于MEMS器件的一個重要分支。這取決于MEMS技術傳感器的技術特性1。小

什么是MEMS傳感器？

什么是MEMS傳感器？

MEMS是一種微電子機械系統(tǒng)。MEMS傳感器是利用微加工技術制造的一種新型傳感器，屬于MEMS器件的一個重要分支。

這取決于MEMS技術傳感器的技術特性

1。小型化，其芯片尺寸基本上是納米級和微米級。

2. 多元化，主要體現在工藝、應用領域和材料上。

3. 集成，將多個不同功能和敏感方向的傳感器集成在一起，形成一個陣列和系統(tǒng)。

4. 批量生產，適合批量生產，成本低。

一些典型的MEMS傳感器

1。MEMS壓力傳感器。它發(fā)展迅速，應用廣泛。MEMS壓力傳感器根據其工作機理的不同可分為三種形式：壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和諧振式壓力傳感器。

2. MEMS加速度傳感器。按其原理可分為壓阻式、壓電式、電容式、熱電偶式、光波導式等MEMS加速度傳感器，其中應用最廣泛的是電容式加速度傳感器。