離心機原理 原子層沉積的原理?
原子層沉積(ATLD)是一種將材料以單原子薄膜的形式逐層沉積在襯底表面的方法。原子層沉積類似于化學沉積。但在原子層沉積過程中,新一層原子膜的化學反應與前一層原子膜直接相關,使得每個反應只沉積一層原子。
原子層沉積(ATLD)是一種將材料以單原子薄膜的形式逐層沉積在襯底表面的方法。原子層沉積類似于化學沉積。但在原子層沉積過程中,新一層原子膜的化學反應與前一層原子膜直接相關,使得每個反應只沉積一層原子。原子層沉積,又稱原子層沉積或原子層外延,由芬蘭科學家首次提出并應用于多晶熒光材料ZnS:Mn這些材料用于平板顯示器。由于表面化學過程復雜,沉積速率低,這項技術直到上世紀80年代中后期才取得實質性突破,然而到了90年代中期,人們對這項技術的興趣不斷增加,主要原因是微電子和深亞微米芯片技術的發(fā)展對芯片尺寸的要求越來越高器件和材料要減少,而器件的長寬比卻在增加,所以所用材料的厚度要減少到幾個納米量級[5-6]。因此,體現(xiàn)了原子層沉積技術的優(yōu)點,如單原子層連續(xù)沉積,沉積層厚度極為均勻,一致性好,沉積速度慢的問題并不重要。以下主要論述了原子層沉積的原理和化學,原子層沉積與其它相關技術的比較,原子層沉積設備,原子層沉積的應用和原子層沉積技術的發(fā)展。
原子層沉積的原理?
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原子吸收光譜法(AAS),也稱為原子吸收光譜法(AAS),是一種儀器分析方法,用于根據(jù)待測元素在氣相中基態(tài)原子共振輻射的吸收強度來確定樣品中元素的含量。是測定痕量和超微量元素的有效方法。它具有靈敏度高、干擾少、選擇性好、操作簡單快捷、結果準確可靠、適用范圍廣、儀器簡單、價格低廉等優(yōu)點,可實現(xiàn)全自動操作。因此,它近年來發(fā)展迅速,是一種應用廣泛的新型儀器分析技術。